中國(guó)電科48所8英寸碳化硅外延設(shè)備再升級(jí)
流年書(shū)柬- 產(chǎn)品展示
- 2024-09-05
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快訊摘要
【中國(guó)電科48所8英寸碳化硅外延設(shè)備再升級(jí)】證券時(shí)報(bào)e公司訊，近日，中國(guó)電科48所自主研發(fā)的8英寸碳化硅外延設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)再獲突破。碳化硅外延爐是第三代半導(dǎo)體碳化硅器件制造的核心裝備之一。...
快訊正文
【中國(guó)電科48所8英寸碳化硅外延設(shè)備再升級(jí)】證券時(shí)報(bào)e公司訊，近日，中國(guó)電科48所自主研發(fā)的8英寸碳化硅外延設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)再獲突破。碳化硅外延爐是第三代半導(dǎo)體碳化硅器件制造的核心裝備之一。此次“全新升級(jí)”的8英寸碳化硅外延設(shè)備，具備更快、更好、更穩(wěn)定的特點(diǎn)，通過(guò)改進(jìn)激光視覺(jué)定位、晶圓自糾偏等技術(shù)，設(shè)備自動(dòng)化性能更加成熟，提升產(chǎn)品生產(chǎn)效率。設(shè)備還成功引入新的摻雜技術(shù)，進(jìn)一步提升產(chǎn)品良率，持續(xù)降低生產(chǎn)成本。
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